自动喷砂机对于半导体硅片及扩散片的应用
腾博设计生产的真空式自动喷砂机应用于半导体分立器件中硅片及扩散片表面磷硅玻璃层及其他氧化层的清理、硅片表面减薄,该设备为环保型喷砂机设备,具有高自动化、高效率及高环保等特点,避免传统化学处理带来的环境污染及后续高成本的污水处理净化成本。
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